जैसा कि हम सभी जानते हैं, दुनिया में केवल एक निर्माता है जो ईयूवी लिथोग्राफी का उत्पादन कर सकता है, वह हैनीदरलैंड्स एएसएमएल.
दुनिया में केवल एक निर्माता होने का कारण यह है कि ASML ने कई प्रमुख निर्माताओं को एक साथ बांधा है, जैसे कि Zeiss (Zeiss), एक जर्मन ऑप्टिक्स कंपनी, Cymer (USA), औरट्रम्पपीएफ (जर्मनी)।
ASML ने इन निर्माताओं को निवेश, अधिग्रहण, शेयरधारिता, अनुसंधान केंद्रों की स्थापना आदि के माध्यम से अपने रथ से जोड़ा है, और ये निर्माता, शायद दुनिया के एकमात्र निर्माता हैं जो इन उत्पादों का उत्पादन कर सकते हैं, इसलिए अंततः दुनिया में केवल ASML ही कर सकते हैं ईयूवी लिथोग्राफी का उत्पादन।
हालाँकि, हाल ही में, ASML की एक प्रमुख आपूर्ति श्रृंखला, शेन्ज़ेन, चीन में एक कारखाना बनाने के लिए दौड़ी, इसकी शेन्ज़ेन सहायक बाओन चीन-जर्मन (यूरोप) औद्योगिक प्रदर्शन पार्क में बस गई।
यह निर्माता जर्मनी का TRUMPF Group (TRUMPF) है, यह ASML का EUV लिथोग्राफी है, जो दुनिया का एकमात्र लेजर स्रोत आपूर्तिकर्ता है।
EUV लिथोग्राफी में TRUMPF उत्पाद कितने महत्वपूर्ण हैं? पहले, मेरी बात सुनो EUV लिथोग्राफी के सिद्धांत की व्याख्या करो, तुम समझ जाओगे।
ईयूवी लिथोग्राफी का सिद्धांत, सरल शब्दों में कहें तो, तीन प्रमुख प्रणालियों पर केंद्रित है, ईयूवी पराबैंगनी प्रकाश स्रोत प्रणाली, वस्तुनिष्ठ दर्पण प्रणाली और तालिका प्रणाली।
विशिष्ट प्रक्रिया अत्यधिक पराबैंगनी प्रकाश के 13.5 एनएम तरंग दैर्ध्य को उत्तेजित करने के लिए लेजर का उपयोग करना है, जिसे बाद में प्रकाश की नियंत्रित बीम बनाने के लिए सही किया जाता है, जिसे एक्सपोजर टेबल पर एक उद्देश्य दर्पण के माध्यम से प्रक्षेपित करने से पहले एक फोटोमास्क टेबल पर प्रक्षेपित किया जाता है। और अंत में फोटोरेसिस्ट के साथ लेपित एक सिलिकॉन वेफर पर एक सर्किट में उकेरा गया।
EUV UV प्रकाश स्रोत प्रणालियों में से एक को टिन (Sn) धातु की छोटी बूंद पर 30 kW पॉवर CO2 लेजर से बमबारी करके, इसे एक प्लाज्मा में वाष्पित करके, और अंत में 13.5 एनएम तरंग दैर्ध्य पर EUV प्रकाश प्राप्त करके प्राप्त किया जाता है।
इस 30 kW CO2 लेज़र की आपूर्ति TRUMPF द्वारा की जाती है, जो दुनिया में एकमात्र है।
इस CO2 लेजर को कम मत समझो, इसमें 457,329 भाग हैं, सिस्टम में केबल की लंबाई 7,322 मीटर तक है, और वजन 17,090 किलोग्राम है, जो EUV लिथोग्राफी में सबसे महत्वपूर्ण मुख्य घटकों में से एक है।
अब TRUMPF चीन में एक कारखाना बनाने के लिए दौड़ा, इरादा स्पष्ट है, अर्थात्, चीनी लेजर बाजार के बारे में आशावादी, और इससे भी अधिक दीर्घकालिक दृष्टिकोण, चीनी लिथोग्राफी बाजार के बारे में आशावादी, भविष्य ईयूवी लिथोग्राफी बनाने के लिए चीन के साथ सहयोग कर सकता है .
वास्तव में, कारखाने के निर्माण के लिए चीन में पहले से ही एक से अधिक ASML आपूर्ति श्रृंखला चल रही है, वहाँ KMWE और अन्य निर्माता हैं, कारखाने बनाने के लिए चीन भी हैं।
वर्तमान प्रवृत्ति के अनुसार, हम आशावादी रूप से उम्मीद कर सकते हैं कि यह चीन की लिथोग्राफी तकनीक से पहले एक बड़ा कदम होगा, और यहां तक कि आउटपुट ईयूवी लिथोग्राफी की मात्रा भी आगे देख सकती है, क्या आपको लगता है?
