सब्सट्रेट सामग्री की विशेषताओं के अनुसार, सब्सट्रेट सतह की सटीकता, सतह खुरदरापन और कण प्रदूषकों के प्रकार, वर्तमान लेजर सफाई विधियों को निम्नलिखित दो श्रेणियों में विभाजित किया जा सकता है।
1) लेजर ड्राई क्लीनिंग विधि। लेजर सीधे वस्तु की सतह को विकिरणित करता है, कणों को दूषित करता है या सतह पर ऊर्जा को अवशोषित करता है, और फिर कणों को थर्मल प्रसार, फोटो अपघटन और गैसीकरण द्वारा सतह को छोड़ देता है।
2) लेजर गीली सफाई विधि। साफ किए जाने वाले पदार्थ की सतह पर कुछ बिना तरल (मुख्य रूप से पानी, कभी-कभी शराब) स्प्रे करें और फिर इसे लेजर से विकिरणित करें। लेजर ऊर्जा को अवशोषित करने के बाद, तरल माध्यम विस्फोटक वाष्पीकरण का उत्पादन करेगा, और इसके चारों ओर प्रदूषण के कणों को भौतिक सतह से दूर धकेल देगा। इसके अलावा, तथाकथित लेजर यौगिक सफाई विधि प्रस्तावित की गई है। लेजर ऊर्जा को सब्सट्रेट सामग्री द्वारा अवशोषित किया जाता है, और फिर adsorbed मध्यवर्ती माध्यम को थर्मल संवहन द्वारा गर्म किया जाता है, और मध्यवर्ती माध्यम विस्फोटक वाष्पीकरण पैदा करता है। उच्च वायु प्रवाह से प्रेरित, कणों को मध्यवर्ती सतह के साथ सब्सट्रेट सतह से अलग किया जाता है।
