स्पंदित एनडी: YAG लेजर सफाई की प्रक्रिया उच्च तीव्रता मुस्कराते हुए, कम स्पंदित पराबैंगनीकिरण, और दूषित परतों के बीच बातचीत की वजह से photophysical प्रतिक्रियाओं के आधार पर लेजर द्वारा उत्पादित प्रकाश दालों की विशेषताओं पर निर्भर करता है । इसके भौतिक सिद्धांतों को निम्नानुसार संक्षेप किया जा सकता है:
एक) लेजर द्वारा उत्सर्जित बीम इलाज किया जा करने के लिए सतह पर दूषित परत द्वारा अवशोषित कर लेता है ।
ख) बड़ी ऊर्जा रूपों का अवशोषण एक तेजी से विस्तार प्लाज्मा (एक अत्यधिक बढ़ अस्थिर गैस) है कि एक सदमे की लहर पैदा करता है ।
ग) सदमे तरंगों के कारण संदूषणों के टुकड़े हो जाते है और अस्वीकार कर दिया है ।
घ) प्रकाश पल्स चौड़ाई गर्मी से बचने के लिए पर्याप्त कम होना चाहिए निर्माण अप कि सतह को नुकसान होगा इलाज किया जा रहा है ।
ङ) प्रयोगों से पता चला है कि जब धातु की सतह पर एक आक्साइड होता है तो धातु की सतह पर प्लाज्मा उत्पन्न होता है ।
प्लाज्मा तभी उत्पन्न होता है जब ऊर्जा का घनत्व एक दहलीज से ऊपर होता है, जो निकाला जा रहा दूषित या ऑक्साइड परत पर निर्भर करता है । इस दहलीज प्रभाव सब्सट्रेट सामग्री की सुरक्षा सुनिश्चित करते हुए प्रभावी सफाई के लिए महत्वपूर्ण है. प्लाज्मा की उपस्थिति के लिए एक दूसरी दहलीज भी है । यदि ऊर्जा घनत्व इस दहलीज से अधिक है, सब्सट्रेट सामग्री नष्ट हो जाएगा । आदेश सब्सट्रेट सामग्री की सुरक्षा सुनिश्चित करने के आधार के तहत प्रभावी सफाई सुनिश्चित करने के लिए, लेजर मापदंडों की स्थिति के अनुसार समायोजित किया जाना चाहिए ताकि प्रकाश नाड़ी के ऊर्जा घनत्व कड़ाई से दो थ्रेसहोल्ड के बीच है.
प्रत्येक लेजर पल्स दूषित परत की एक निश्चित मोटाई को हटा । यदि दूषित परत गाढ़ी हो तो सफाई के लिए कई दालें जरूरी होती हैं । सतह को साफ करने के लिए आवश्यक दालों की संख्या सतह संदूषण की डिग्री पर निर्भर करता है । दो थ्रेसहोल्ड द्वारा उत्पादित एक महत्वपूर्ण परिणाम सफाई के आत्म नियंत्रण है । पहली दहलीज के ऊपर एक ऊर्जा घनत्व के साथ प्रकाश दालों हमेशा जब तक सब्सट्रेट सामग्री तक पहुंच गया है दूषित पदार्थों को अस्वीकार करेगा । हालांकि, क्योंकि इसकी ऊर्जा घनत्व सब्सट्रेट सामग्री के विनाश दहलीज से कम है, सब्सट्रेट क्षतिग्रस्त नहीं है.
